宝永電機株式会社は富士電機特約店・富士通特約店・パナソニック代理店です。

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富士電機(株)

MEMSファウンドリーサービス

Si、SOI基板への複雑な3次元形状加工を実現

ラージギャップ露光、高段差レジストコート、高アスペクト比加工の各技術を駆使し、基板同一面への多段加工を高精度に実現します。
MEMS加工時に制約のあるウエハに対して複雑な3次元形状加工を実現可能です。
また、組成比、膜厚を管理した各種メタル膜の成膜も実施いたします。

三次元深堀加工サンプル
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MEMS加工例?(圧力センサ) MEMS加工例?(圧力センサ) 保有設備例?(オートアライナ) 保有設備例?(ICP)
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